主机：
点分辨率：0.23 nm；条纹分辨率：0.14 nm
加速电压： 200 kV
放大倍数：放大模式：2×103 ~ 1.5×106 低倍模式：30 ~ 6×103
相机长度：0.4、0.8、1.2、1.6、2.0 m
倾斜角度: ±30o
X射线能谱仪(Oxford X-MAX 80T):
能量分辨率：126 eV 最小分析区域：10 nm
元素分析范围：5B ~ 92U
仪器功能和使用范围
1.明场像（形貌像）：可获得材料样品的形态和内部微细结构特征。
2.相位衬度像（高分辨像）：可获得晶体的一维晶格条纹像、二维晶格点阵像和原子结构像。
3.电子衍射花样：可获得晶体不同取向的电子衍射花样。
4.衍射暗场像：用衍射电子成像，研究晶体结构特征。
5.X射线能谱：可在无标样条件下对试样微小区域的成分做定性和相对定量分析。
