1. 全元素扫描分析。分析精度高，速度快。

2. 制样简单，样品无需经过化学消解前处理，可不破坏样品直接做无损分析。

3. 检测样品形态种类不限。如块状、粉末状固体、薄膜，液体，悬浊液等样品。

4. 分析元素含量的线性范围广。分析浓度范围从痕量（0.0001％）到常量（99.999％）。

5.分析的样品量从几十毫克到几十克。大功率激发源(初级X光)可探测样品深度达0.03～3mm。

6. 利用滤纸法可快速定量，定性分析液体中元素种类和含量。

7. 检出限达0.5µg/g , 分析精度为0.02％～2.0％。