扫描电镜部分：

二次电子像分辨率：0.7 nm @15 kV，1.1nm @1kV

分析分辨率：2.0 nm @ 15 kV（≥ 5 nA）

放大倍数：20～2000000x

加速电压：0.02～30 kV

能谱仪：分辨率（Mn Ka）127eV，分析元素范围：Be4～Cf98

拉曼光谱仪部分：

光源：532nm和633nm

光栅：300、600、1800刻线

拉曼成像：扫描范围250μm*250μm*250μm

拉曼成像空间分辨率：XY方向优于500nm（532nm激光），Z方向优于1500nm（532nm激光）