球差矫正透射电子显微镜安装有聚光镜球差矫正器，能获得高分辨图像以及可达原子级别分辨的BF-、ABF-、ADF-STEM图像；配备有GatanQuantum 965能量过滤器，能再原子尺度内实现对材料化学成分和电子结构的分析。X射线能谱仪系统为Oxford X-MAX80探测器，可进行元素点分析，并给出线扫、面扫元素分布结果。