基本信息

  • 生产厂商 蔡司公司
  • 资产编号 202124890S
  • 资产负责人 付圣权
  • 购置日期2020-05-27
  • 仪器价格396.00 万元
  • 仪器产地英国
  • 仪器供应商蔡司公司
  • 购买经办人
  • 主要配件 X射线能谱仪和电子背散射衍射仪
  • 主要参数

    二次电子图像分辨率:0.7 nm @ 15 KV1.1 nm @ 1 KV(非样品台减速模式);

    分析分辨率:2.0 nm @ 15 KV(5nA)

    能谱分辨率:优于127 eV;检测范围:B(5)~ U(92)

    电子背散射衍射仪:相机分辨率:1344*1024像素,角分辨率:0.05度,最大速度:100Hz。



仪器介绍

本仪器配备 Gemini 2 双聚光镜电子光学镜筒,可在低束流的高分辨率成像与高束流的分析模式之间进行无缝切换,为各种不同应用提供全方位的适用性和灵活性。可观察物体二次电子像、背散射电子像,同时可进行X射线能谱分析和电子背散射衍射分析::

1固体物质表面形貌观察

观察样品时可不喷金或者少喷金,可广泛应用于生物、物理、化学、纳米材料、金属材料、高分子材料等方面的表面形貌观察、粒度测量、集成电路质量检验、断口分析、失效分析等。

2散射电子像(BSE

背散射电子像可显示出试样微区原子序数或化学成分的差异,即试样的成分衬度。根据背散射电子像的亮暗程度,可判别出相应区域的原子序数的相对大小,由此可对陶瓷、金属或合金等材料的显微结构进行分析。

3X射线能谱(EDS)

配备牛津Aztec系列X射线能谱仪,分析元素范围B(5)~ U(92),可对固体物质进行微区元素成分分析,适用于生物学、医学、化学、化工学、物理学、金属学等相关学科的有关物体的微区元素定性、半定量分析。

4电子背散射衍射(EBSD

EBSD可测定晶体材料的晶体结构和取向,用于研究材料的微观组织结构和织构,已成为材料研究中一种有效的分析手段。目前EBSD技术的应用领域包括:工业生产的金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石-以研究各种现象,如热机械处理过程、塑性变形过程、与取向关系有关的性能(成型性、磁性等)、界面性能(腐蚀、裂纹、热裂等)、相鉴定等。