本仪器具有电子枪亮度高、束流稳定，图像分辨率高、景深大等特点，放大倍率100倍~300000倍连续可调，可观察物体二次电子像、背散射电子像，同时可进行X射线能谱分析和阴极荧光光谱分析：

1．固体物质表面形貌观察

分辨率达1.5nm（10KV）。可广泛应用于生物、物理、化学、纳米材料、金属材料、高分子材料等方面的表面形貌观察、粒度测量、集成电路质量检验、断口分析、失效分析等。

2．背散射电子像（BSE）

背散射电子可显示出试样微区原子序数或化学成分的差异，即试样的成分衬度。根据背散射电子像的亮暗程度，可判别出相应区域的原子序数的相对大小，由此可对陶瓷、金属或合金等材料的显微结构进行分析。

3．X射线能谱(EDS)

配备牛津INCA系列X射线能谱仪，分析元素范围5B~92U,可对固体物质进行微区元素成分分析，适用于生物学、医学、化学、化工学、物理学、金属学等相关学科的有关物体的微区元素定性、半定量分析。

4．阴极荧光光谱(CL)

配备Gatan MONO CL3型阴极荧光光谱仪附件，检测波长范围为300nm~900nm。通过观察分析发光材料（一般为绝缘体或半导体）的阴极荧光像，可确认发光部位、发光波长和发光强弱等，又可探讨材料的晶体结构、缺陷及所含杂质等对发光的影响。