扫描管:闭环X、Y: 90 μm,Z: 7.5 μm
开环X、Y:5 μm,Z: 1.5 μm
电动Z轴载物台:Z轴行程:18 mm
光学系统:彩色CCD摄像头,带电动变焦
噪声水平:≤ 0.5 Å
控制器:20位DAC控制器,100 kHz、±10v ADCs,数字反馈器件
原子力显微镜(AFM)与是利用探针尖端与样品表面原子之间的范德华力作用来呈现样品的表面特性。Innova原子力显微镜具有高扫描分辨率、出色品质,可应用于物理、生命科学和材料科学等诸多领域,同时有如下特点:
1. 大范围扫描器(100 μm X 100 μm ),适合多种样品;
2. 探针可快速更换,灵活性高;
3. 自动进针,操作简便。