本仪器配备肖特基场发射电子枪，在低电压下仍具有很高的图像分辨率，可观察物体二次电子像、背散射电子像，同时可进行X射线能谱分析：

1．固体物质表面形貌观察

观察样品时可不喷金或者少喷金，可广泛应用于生物、物理、化学、纳米材料、金属材料、高分子材料等方面的表面形貌观察、粒度测量、集成电路质量检验、断口分析、失效分析等。

2．背散射电子像（BSE）

背散射电子像可显示出试样微区原子序数或化学成分的差异，即试样的成分衬度。根据背散射电子像的亮暗程度，可判别出相应区域的原子序数的相对大小，由此可对陶瓷、金属或合金等材料的显微结构进行分析。

3．X射线能谱(EDS)

配备牛津Aztec系列X射线能谱仪，分析元素范围B（5）~ U（92）,可对固体物质进行微区元素成分分析，适用于生物学、医学、化学、化工学、物理学、金属学等相关学科的有关物体的微区元素定性、半定量分析。