电子枪分辨率:1.2nm @ 15kV
离子枪分辨率:3.0nm @ 30kV,探针电流:1 pA~65 nA ,加速电压范围:500 V~30 kV ,使用寿命:≥1000小时
DB500 拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒,是一款优雅全能的纳米分析和制样工具。高压隧道技术 (SuperTunnel)、 低像差无漏磁物镜设计, 低电压高分辨率成像, 保证纳米分析能力。“承影” 离子镜筒采用液态镓离子源, 拥有高稳定、高质量的离子束流,保证纳米加工能力。 集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构,拥有 24 个扩展口, 配置全面,自主可控,扩展性强,打造全能纳米分析和加工中心。
聚焦离子束(FIB)是将离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后轰击样品表面,利用电子信号取得样品图像,利用离子束对样品表面原子进行剥离,进行材料微纳米力学测试样品(如微柱、悬臂梁、微纳米拉伸试样等)制备、微纳米级表面形貌加工、TEM样品制备。