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● 分析室极限真空:2´10-9 mbar
● 单色化X射线源:Al Ka射线,最大源束斑400 mm,最小源束斑10 mm
● XPS测试:对于Ag3d5/2谱峰,400 mm条件下的强度为2.0Mcps@0.60eV,20 mm条件下的强度为30kcps@0.60eV
● UPS测试:对Ag费米边,当能量分辨率≤120 meV时,Ag4d信号强度≥2.0 Mcps
NEXSA型X射线光电子能谱仪系统配置有单色化Al Ka X射线激发源、气体放电紫外激发源、双束荷电中和源、团簇模式/单粒子模式复合离子源,能够实现样品在不同深度情况下的常规XPS和UPS测试。