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(1)极限真空度:≤2×10-6mbar;
(2)镀膜厚度:1-100nm;
(3)检测精度0.1nm;
(4)镀膜种类:碳和金属
该镀膜仪主要用来在非导电材料表面蒸发或者溅射沉积纳米导电薄膜,用来提高样品的表面导电性能,同时由于厚度仅为几个纳米,可以很好保持样品原始的表面形貌。