射频发生器：

自激射频发生器

频率：40.68 MHz  

功率：750 W ~ 1500 W,1 W增量连续可调，功率稳定性优于0.1%

光学系统：

波长：160 ~ 900 nm

焦距：200 mm ~ 650 mm

精密度：1 ppm 混合多元素溶液。CV<0.5%。

稳定性：1小时RSD<1%， 4小时RSD<2%。

分辨率：在200 nm处，像素分辨率：0.003 nm。

检测系统：

固态检测器

检测方式：水平和垂直双向检测

检出限，0.2 ng/mL (Be,Cd) ~ 4 ng/mL (As,Tl)

气路系统：

所有气体为电脑程序全自动流量控制。

氩气：具有氩气恒温和除湿功能。

等离子气：流量 5~20 L/min，增量1 L。

辅助气：流量 0~2.0 L/min，增量0.1 L 。

雾化气：由高精密度质量流量控制器控制，流量 0~2.0 L/min，增量 0.01 L/min。

吹扫气： 0~2 L/min (氮气或氩气)。