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分析室极限真空:5×10-10 torr;
单色化X射线源:Al kα,最大功率 600W,束斑 300×700 μm2;
能量分辨率和灵敏度(Ag 3d5/2):Ag 3d5/2峰半高宽为0.6eV时强度大于1,500 kcps;
UPS:灵敏度1,000,000cps,能量分辨率100 meV@ Ag费米边。
该电子能谱仪具有进行XPS、UPS的测试分析,主要用于粉末、薄膜、高分子等材料的表面几个原子层(1~10纳米厚的表面)的化学组成、价态及功函数特性的分析与表征。可检测除氢和氦以外的所有元素,检测限约0.1at%。适用于分析无机化合物、金属合金、半导体、聚合物、陶瓷、催化剂、玻璃、纸张、纺织品、等固体材料。样品形态包括块状、薄膜、粉末、纤维等,具有广泛的样品适用性。