配备ELstar电子枪，高稳定肖特基场发射灯丝；

电子束加速工作电压范围 200V—30KV，电子束流强度0.8pA—100nA，束流连续可调；

Tomahawk离子源，加速电压500V—30KV，离子束流强度0.1pA—65nA；

五轴马达驱动全对中样品台，移动范围 X >110mm， Y >110mm， Z >65mm，倾斜角度为 -15°—+90°

可放置样品最大高度85mm，一体化集成等离子清洗仪。