1. 样品台尺寸：≥150 mm
2．最大扫描长度：55mm
3．重复性测量偏差：≤0.5nm(1σ lum 标准块重复扫描 30 次）
4．探针加力范围：0.5- 50mg
5．最大测量高度：160um
6．探针选项：标准探针（曲率半径≥2um 角度 60°）亚微米探针（曲率半径≤1um 角度 60°）
7．样品台运动控制：可实现水平（ X/Y)，旋转（ RZ ）手动控制；XY 行程：150mm*150mm；
8．样品厚度：≤50 mm
9．扫描最大采集点数：200万点
10．采样速度：200Hz
11．扫描方向：左右双向
12．扫描速度：5um/s-1000um/s
13．软件功能：台阶高度、膜厚、粗糙度等
台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器，其核心原理是机械探针触测法，可以对材料进行膜厚、台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量结果稳定准确，对测量环境要求低，仪器操作简单，不仅可测金属表面，也可测非金属表面，是目前工业领域内应用最为广泛的测量方法，也是国际公认的二维表面粗糙度测量的标准方法。台阶仪广泛应用于半导体，功能膜，电池材料，表面加工等领域。
