1. 质量分析器:低质量时质量分辨率(SiH+:29amu):≥17000 ;高质量时质量分辨率(>200amu):≥26000 ;分析绝缘体时质量分辨(on PET:104amu):≥18000 ;质量范围:1~12000amu;质量精度:< 1 mu for m< 100 u; < 10 ppm for m > 100 u。
2. 分析用Bi离子源:Bi液态金属团簇离子枪,可以提供BiMn分析离子束,加速电压:30 keV;离子束流:>40nA
3. 剥离用EI离子源:气体电离离子源(EI源),可以对O或Ar气体电离的离子源,离子束能量范围:最小≤100eV;最大≥2.0keV,最小束斑直径:<10 um
4.剥离用Cs离子源:离子束能量范围:最小≤100eV;最大≥2.0keV,最小束斑直径:<5 um
飞行时间二次离子质谱是重要的表面分析手段,广泛应用于能源电池材料的电池表界面研究,不仅可以得到表界面的化学成分,对表界面性能进行预测,利用离子剥离技术,还可以得到三维空间上的元素分布及结构特征,从而评估界面化学结构和不规整性,以及横向和纵向的成分变化。适用于各类功能薄膜的机理研究、能源电池、催化剂研究与失效分析、化学与化学工程等领域。