分析室极限真空:5×10-10mbar;
单色X-射线源:Al kα 150 W,束斑500 μm;
能量分辨率和灵敏度:Aɡ3d5/2峰半高宽为0.45 eV时强度大于1,600,000 cps;
UPS:灵敏度1,000,000 cps,能量分辨率100 meV@ Aɡ费米边。
团簇离子枪:单Ar离子能量范围:0.5-4.0 KeV;单个团簇Ar能量:1-100 eV。
高温高压催化反应池:最高温度900℃,最大反应压力10bar。
光纤导入系统:氙灯光源,波长范围220-2000nm.
多功能原位X射线光电子能谱仪主要用于薄膜、固体粉末等材料的表面元素组成、价态、价带以及功函数等综合分析与表征。仪器由具备单色化XPS、紫外光电子谱UPS、复合离子团簇枪功能的三室结构主机和超高真空传递装置、高温高压催化反应室、光纤导入模块、等离子体清洗装置、空气/水份敏感样品转移仓及真空互联系统等组成。可以用于各类功能薄膜机理研究、纳米材料、高分子材料、能源电池、催化剂研究与失效分析、化学与化学工程、生物医药等领域。