透射电子显微镜是材料研究必备的分析设备，以场发射电子枪为光源的透射电镜可以提供亚纳米级别的分辨能力，可以对材料内部几个纳米尺度范围的形态、结构和成分做较为精确的分析。此外，结合能谱仪 (EDS)  等附件，可以进行微区成分、价态分析等表征，在化学、物理、生物、材料等专业的科研研究中可以发挥重要作用。

仪器功能和使用范围：

TEM模式：

1、明场像（形貌像）：可获得材料样品的形态和内部微细结构特征。

2、相位衬度像（高分辨像）：可获得晶体的一维晶格条纹像、二维晶格点阵像和原子结构像。

3、电子衍射花样：可获得晶体不同取向的电子衍射花样。

4、衍射暗场像：用衍射电子成像，研究晶体结构特征。

5、X射线能谱：可在无标样条件下对试样微小区域的成分做定性和相对定量分析。

STEM模式：

1、扫描透射明场像（STEM-BF）：图像效果与明场像（TEM-BF）类似。

2、HAADF（高角环形暗场像）：用大角度弹性散射电子成像。图像衬度与原子序数、样品厚度正相关，称为Z衬度。

3、EDS mapping：与STEM图像同步表征试样中各元素的位置分布和含量。

4、BEI图像：采集二次电子和背散射电子信号，获得样品表面形貌和元素信息。