本仪器配备肖特基场发射电子枪，在低电压下仍具有很高的图像分辨率，可观察物体二次电子像、背散射电子像，同时可进行X射线能谱分析：

1 固体物质表面形貌观察

观察样品时可不喷金或者少喷金，可广泛应用于生物、物理、化学、纳米材料、金属材料、高分子材料等方面的表面形貌观察、粒度测量、集成电路质量检验、断口分析、失效分析等。

2 背散射电子像（BSE）

背散射电子像可显示出试样微区平均原子序数的差异，给出试样的成分衬度，由此可对陶瓷、金属或合金等材料的显微结构进行分析。

3 X射线能谱(EDS)

配备牛津UltimMax170 ＆ Ultim Extreme 双探头X射线能谱仪，可进行元素点分析，也可给出线扫、面扫元素分布结果，无窗能谱仪Ultim Extreme还可在低压下给出线扫、面扫元素分布结果。